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内容简介:
本书介绍了微光机电系统(Nicro-Optical-Electro-mechical System,MOEMS)的国内外发展状况,微器件的结构设计与仿真,常用的微制造技术,如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺,封装技术等。本书的重点是介绍各种MOEMS器件,包括微力学器件、RF微器微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。介绍微器件时,本书从各器件的工作原理、工艺步骤、性能指标等入手,意在使读者更好地了解目前已经研制成功的各种微器件及微系统,并能在实际的工程中考虑使用。
本书可作为从事MOEMS技术应用和开发的工程设计人员,科技管理人员以及相关专业研究生的参考书。
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书籍介绍
本书介绍了微光机电系统(Nicro-Optical-Electro-mechical System,MOEMS)的国内外发展状况,微器件的结构设计与仿真,常用的微制造技术,如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺,封装技术等。本书的重点是介绍各种MOEMS器件,包括微力学器件、RF微器微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。介绍微器件时,本书从各器件的工作原理、工艺步骤、性能指标等入手,意在使读者更好地了解目前已经研制成功的各种微器件及微系统,并能在实际的工程中考虑使用。
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书籍信息完全性:5分
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书籍清晰度:4分
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下载评价
- 网友 龚***湄: ( 2025-01-03 21:23:06 )
差评,居然要收费!!!
- 网友 訾***晴: ( 2025-01-01 04:23:40 )
挺好的,书籍丰富
- 网友 游***钰: ( 2025-01-07 00:57:56 )
用了才知道好用,推荐!太好用了
- 网友 师***怀: ( 2024-12-29 17:28:33 )
好是好,要是能免费下就好了
- 网友 蓬***之: ( 2024-12-21 17:52:18 )
好棒good
- 网友 家***丝: ( 2025-01-08 16:56:38 )
好6666666
- 网友 温***欣: ( 2024-12-24 10:50:10 )
可以可以可以
- 网友 苍***如: ( 2025-01-05 16:32:57 )
什么格式都有的呀。
- 网友 焦***山: ( 2024-12-27 21:13:29 )
不错。。。。。
- 网友 曾***玉: ( 2025-01-16 06:46:45 )
直接选择epub/azw3/mobi就可以了,然后导入微信读书,体验百分百!!!
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书籍真实打分
故事情节:7分
人物塑造:3分
主题深度:5分
文字风格:7分
语言运用:4分
文笔流畅:3分
思想传递:6分
知识深度:8分
知识广度:6分
实用性:3分
章节划分:4分
结构布局:5分
新颖与独特:6分
情感共鸣:9分
引人入胜:8分
现实相关:5分
沉浸感:6分
事实准确性:8分
文化贡献:4分